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        來談談CF4泄漏檢測的七個基本要素

        發布時間:2021-01-11瀏覽:473次
          CF4泄漏檢測基于超靈敏懸臂梁增強光聲光譜檢測技術,結合量子級聯激光(QCL)光源,可對CF4的中紅外基本光譜吸收峰進行研究。兩者的結合提供了足夠的靈敏度,可以毫不延遲地檢測到小濃度的CF4飛濺或溢出,同時確保了超高的穩定性。重新校準周期持續數月甚至數年,從而大大減低了總體持有成本。
          高靈敏度的CF4泄漏檢測可以在生產環境中快速的探測污染物。另外,由于其零背景特性,直接吸收檢測可以確保長期的高穩定性。準確,可靠且維護成本低的潔凈室污染控制,快速的響應時間以捕獲濃度的突然增加,獨立的操作系統,內置的氣體交換泵,無消耗品或化學試劑,光路短,單點校準也可達到一定動態范圍,直接吸收測量,無漂移,高選擇性,并且不受乙醛和其他VOC的干擾。
         

        CF4泄漏檢測

          1、響應時間:取決于用戶定義的通道積分時間CIT和氣體沖洗設置。根據平均時間和采樣設置,它從10秒到幾分鐘不等。
          2、監測下限:小于0.1ppb。
          3、動態范圍:大于5個數量級(檢測下限的100,000倍)。
          4、重復性:在操作條件下,校準濃度的重復性小于1%。
          5、精度:校準濃度高于5%,這受校準氣體精度的限制。
          6、溫度穩定性:CF4泄漏檢測不會由于工作溫度范圍內的環境溫度變化而引起漂??移。
          7、壓力穩定性:樣品在壓力范圍內的壓力變化不會引起漂移。
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