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        ?CF4泄漏分析儀都可以測量哪些參數?

        發布時間:2021-02-09瀏覽:394次
          ?CF4泄漏分析儀基于超靈敏的懸臂梁增強光聲光譜檢測技術,結合量子級聯激光(QCL)光源,致力于CF4的中紅外基本光譜吸收峰。兩者的結合提供了足夠的靈敏度,可以毫不延遲地檢測到小濃度的CF4飛濺或溢出,同時確保了超高的穩定性。重新校準周期持續數月甚至數年,從而大大降低了總體擁有成本。
          ?CF4泄漏分析儀超靈敏的專業光學麥克風,基于微電機懸臂梁傳感器,結合激光干涉儀來測量懸臂梁的微觀運動,光源配置:分布式反饋量子級聯激光器,樣品電池溫度穩定在50℃。
         

        CF4泄漏分析儀

          CF4泄漏分析和檢測要求:潔凈室需要控制污染物的水平。準確,可靠和低維護的潔凈室空氣分子污染物AMC控制可以顯著提高生產率。高度靈敏的GASERAONECF4可以快速檢測生產環境中的污染物。另外,由于其零背景特性,直接吸收檢測可以確保長期的高穩定性。GASERAONECF4可以與其他檢測儀器集成在一起,例如機柜中的顆粒物監測儀。
          ?CF4泄漏分析儀可以測量哪些參數?
          1、響應時間:取決于用戶定義的通道積分時間CIT和氣體沖洗設置。根據平均時間和采樣設置,它從大約15秒到幾分鐘不等。
          2、監測下限:N2O2ppb,CH410ppb。
          3、動態范圍:5個數量級(檢測下限的100,000倍)。
          4、重復性:在操作條件下,校準濃度的重復性小于1%。
          5、準確度:在校準濃度下優于5%,這受校準氣體的準確性限制。
          6、溫度穩定性:工作溫度范圍內的環境溫度變化不會引起漂移。
          7、壓力穩定性:樣品在壓力范圍內的壓力變化不會引起漂移。
          
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