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        看了這個,你就知道AMC監測有多重要了

        發布時間:2021-03-04瀏覽:835次
          隨著集成電路工業和半導體工業技術的發展越來越快,不僅在生產過程中對設備的要求越來越準確和可靠,而且對工藝和制造環境的要求也越來越高嚴格。潔凈室是對環境敏感的物質和產品的過程制造環境,主要用于提高產量和產量。但通常會忽略一些微小的化學揮發性氣體,實際上它們對許多處理過程有害,尤其是在集成電路行業中。因此,為了提供“更清潔”的生產環境,近年來,機載分子污染物AMC已逐漸被人們所認識和重??視??赐赀@篇文章后,你將明白AMC監測的重要性。
         

        AMC監測

          潔凈室環境中的空氣分子污染物,AMC,內部來自建筑材料,設備和材料的釋放,腐蝕和光刻等過程,化學物質逸出,人員生成,管道泄漏,設備維護和維修例如,外部存在于周圍空氣中的氣相污染物和潔凈室的廢氣排放被送回潔凈室。AMC監測是高科技生產過程中的關鍵因素,尤其是在微電子行業。
          那么,什么是AMC?AMC是指空氣傳播的分子污染,也縮寫為“分子污染”。它包括一系列出現在潔凈室空氣中的污染物,它們以氣體,蒸氣和空氣中的粉塵的形式出現?;瘜W特性可以是有機或無機的;包括酸,堿,聚合物添加劑,有機金屬化合物,縮合劑和添加劑的特性。
          1、AMC描述了多種化學類型,這些化學類型通常會導致大量潛在的工藝問題。
          2、AMC對亞微米設備生產的幾乎任何方面都有影響,基本上貫穿整個生產過程和設備的終性能。
          3、半導體制造工藝將300mm晶圓,銅互連和設備組件的尺寸更改為小于0.01微米,這正在加速將相應的制造環境轉變為分子污染(AMC)。
          4、AMC監測已成為所有新型半導體制造設備設計要求中的重點之一。
          5、過多的MC空氣分子污染物將導致一系列嚴重后果,例如廢棄的威化餅,停產和凈化潔凈室。因此,AMC監視非常重要。
         
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